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表面处理设备关键部件
一、多功能离子注入技术及设备
多功能离子注入是一种将离子注入和增强沉积相结合的先进表面改性新技术。该设备配有多个源头，既能单独使用，也可以根据工艺要求以各种不同方式，部分或同时进行工作，从而实现对材料表面的单元、多元注入或增强沉积。被它处理过的工件，明显改善工件表面的耐磨、耐腐蚀和抗疲劳等性能，从而提高工件的使用寿命。
二、全方位离子注入与沉积技术及设备
全方位离子注入是一种先进的材料表面改性新技术。其基本原理是:将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命
14、图案层在产品的表面上，厚度只有几个微米，产品使用一段时间后很容易会将印刷图案层磨损掉，也易褪，造成表面很不美观。另外新品开发周期长、开发费用高，图案颜无法实现小批量灵活变化也是IMR工艺无法克服的弱点。首先在概念上有必要说明:IMD包含IML,IMF,IMRIML:IN MOLDING LABEL印刷胶料与塑结合IMF:IN MOLDING FILM与IML相同IMR:IN MOLDING ROLLER重点在于胶料上的离型层。PET FILM印离型剂印刷油墨印接着剂 内塑料射出油墨与塑接着开模后胶料会自动从油墨离型。日本称热转写。这机器是用ROLL TO ROLL方式，而对位用CCD计算机
因此，在清洁待清洁的物体的表面之后，能够持续执行沉积，且因此提高生产力。65.此外，根据本发明构思的实施例，涂布步骤是在清洁步骤之后执行。因此，可保持对初始涂布薄膜的损失厚度及表面粗糙度的补偿，且因此当安装半导体处理腔室时，可能使受到遭遇初始条件困扰的发生小化。66.如上所述，根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可以地清洁部件。67.根据本发明构思的实施例，与相关技术相比，表面处理设备及方法可降低在部件的清洁过程中涂布厚度的减小。68.根据本发明构思的实施例，与相关技术相比，表面处理设备及方法可降低在部件的清洁过程中表面平均粗糙度的减小。69.根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可通过清洁部件并持续涂布部件来降低花费在使部件再生上的时间。70.根据本发明构思的实施例，表面处理设备及方法可以在不使用诸如酸性化学处理或碱性化学处理的化学处理过程的情况下环境友好地使部件再生。71.本发明构思的功效并不限制于前述功效，且本文未提及的其他功效可由本发明构思涉及的那些本领域普通技术人员从该说明书及附图中充分理解。
17、剂性较差，故这些制品同有机溶剂接触的部分，宜用合适的涂料保护。防增塑剂挥发及渗出。防吸湿。防划伤、擦伤和磨伤。近年来，特种功能涂料发展很快，塑料制品上涂布了这些涂料可以扩大塑料的应用范围。例如阻燃涂料和防火涂料可以赛璐珞制品、聚丙烯及不饱和聚酯玻璃钢瓦着火；用作透镜的光学塑料，需要涂布防反射涂料，抗静电涂料、耐磨涂料及抗划伤涂料等。铝及其合金化学氧化工艺化学氧化是不用外来电流而仅把制件置入适当溶液中，使其表面生工氧化膜。一般是将铝件浸在含有碱溶液和碱金属的铬酸盐溶液中，铝和溶液互相作用，很快生成AL2O3和AL(OH)3的薄膜。这种氧化膜具有较高的吸附能力，一般工业上作为表面涂装的底层