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刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等,刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相,等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应,生成其他比如CO,CO2,H2O等气体,从而达到蚀刻的目的。
实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体,应用最多的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体,无毒、不燃,但在高浓度时具有麻醉作用,所以在工业应用时储存的容器为专用高压气瓶,所使用的减压阀也为专用减压阀。
四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体,能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除,在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用。
利用超高压水射流巨大的打击能力,将设备表面油污、锈蚀、旧漆层等污垢去除,机器人所过之处设备露出原有表面,真空系统吸附排渣将除锈过程中产生的锈渣和废水回收排放,达到减少排放、回收的目的,整个除锈过程中不仅看不见水,而且无粉尘污染,是目前对于大型导磁面设备表面进行除漆除锈处理的、、自动化解决方案。低温等离子体处理技术是一种中性的干法处理。等离子清洗机产生的等离子体具有的物理化学特性,可以清洁基板表面,有效去除表面污染物,避免污染。它没有静电损伤,还可以修饰基底表面,提高基底的表面能、润湿性、活化等性能。
工作原理及特点 :焊丝通过丝轮送进,导电嘴导电,在母材与焊丝之间产生电弧,使焊丝和母材熔化,并用惰性气体氩气保护电弧和熔融金属来进行焊接的。它和钨氩弧焊的区别:一个是焊丝作电,并被不断熔化填入熔池,冷凝后形成焊缝;另一个是采用保护气体,随着熔化氩弧焊的技术应用,保护气体已由单一的氩气发展出多种混合气体的广泛应用,如以氩气或氦气为保护气时 称为熔化惰性气体保护电弧焊(在上简称为MIG焊);以惰性气体与氧化性气体(O2,CO2)混合气为保护气体 时,或以CO2气体或CO2+O2混合气为保护气时,或以CO2气体或CO2+O2混合气为保护气时,统称为熔化活性气 体保护电弧焊(在上简称为MAG焊)。从其操作方式看,目前应用广的是半自动熔化氩弧焊和富氩混合气保护焊,其次是自动熔化氩弧焊。
等离子处理设备主要适用于各种材料的表面改性处理:表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。等离子表面处理设备等离子表面处理设备广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域,是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。等离子处理机具有高稳定性、高均匀性等诸多优点。与传统的方法相比,等离子表面处理设备具有成本低、无废弃物、等显著的优点。