江苏特氟龙表面处理哪家价格实惠
刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等,刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相,等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应,生成其他比如CO,CO2,H2O等气体,从而达到蚀刻的目的。
实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体,应用最多的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体,无毒、不燃,但在高浓度时具有麻醉作用,所以在工业应用时储存的容器为专用高压气瓶,所使用的减压阀也为专用减压阀。
四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体,能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除,在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用。
等离子清洗机是一种的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。真空等离子清洗机是气体分子在真空、放电等场合下产生的物质,等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,达到表面处理、清洗和刻蚀效果。低温等离子处理设备低温等离子设备已在传统和高技术领域被广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域。类型有:水平式低温等离子设备、卷对卷式低温等离子设备
等离子处理设备主要适用于各种材料的表面改性处理:表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。等离子表面处理设备等离子表面处理设备广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域,是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。等离子处理机具有高稳定性、高均匀性等诸多优点。与传统的方法相比,等离子表面处理设备具有成本低、无废弃物、等显著的优点。
原料粒子的尺寸可为几μm,且通过使原料颗粒粒化所获得的清洁粒子1的尺寸可为几十μm。例如,清洁粒子1的尺寸(大小)可在几μm至100μm的范围内。清洁粒子1的尺寸(大小)可优选地在20μm至50μm的范围内。当原料颗粒被粒化且大小变大时,碰撞能量可能增强。清洁粒子1的大小及形状可根据涂布薄膜及污染物薄膜的硬度来不同地设置。49.图3是示出根据本发明构思的实施例的表面处理方法的流程图。将参考图3描述根据实施例的表面处理方法。50.根据实施例的表面处理方法包括:拆卸待清洁的部件的步骤(s10);通过在真空中经由超音速喷嘴110喷射清洁粒子来清洁部件的步骤(s20);通过向已清洁部件吹扫气体来去除经清洁部件的表面上的灰尘的步骤(s30);及重新涂布经清洁部件的表面的步骤(s40)。51.图4是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备清洁部件的表面的步骤的视图。图5是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备来向部件的表面吹扫气体的步骤的视图。图6是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备来涂布部件的表面的步骤的视图。