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金属表面处理
金属表面处理主要是指抛光、打磨、抛丸、喷砂等金属机械加工工艺，通常是对有色金属压铸件（以铝、镁等有色金属材料为主）深加工前进行的表面预处理手段，是保证产品品质的重要环节。
这个过程中会产生一定量的金属或者金属与非金属的混合粉尘，当空气中这类粉尘浓度达到爆炸极限，遇到点火源（抛光、抛丸均极易产生火星）极易产生爆燃事故。特别是铝、镁粉尘及含有铝、镁等有色金属成分的混合粉尘的爆燃危害更大。
湿式除尘设备的过滤介质是水，因此，对于抛光、抛丸等极易产生火星的工艺来说，绝大多数情况下，通过直接灭熄点火源（火星）的湿式除尘方式，无疑是最实用、最安全、最便捷的粉尘净化方式。
4． 电镀:主要镀五彩锌、白锌、黑锌、镀铬五.钣金加工主要设备1.下料设备:普通剪床、数控剪床、激光切割机、数控冲床、线切割激光切割是由电子放电作为供给能源，利用反射镜组聚焦产生激光光束作热源的一种无接触切割技术，利用这种高密度光能来实现对钣金件的打孔及落料。特点:切割形状多样化，切割速度比线切割快，热影响区小，材料不会变形，切口细，精度及质量高，噪声小，无刀具磨损，无需考虑切割材料的硬度，可加工大型，形状复杂及其它方法加工的零件。但其成本较高，同时会损坏工件的支撑台，而且切割面易沉积氧化膜，难处理。一般只适合单件和小批量加工。
使用表面处理设备的表面处理方法将与图3一起参考图4至图6以顺序次序描述。52.从基材处理设备拆卸待清洁的物体10并将该待清洁的物体10提供给表面处理设备。待清洁的物体10可以是通过使用y2o3在阳氧化铝合金基底材料上执行aps涂布而获得的部件。待清洁的物体10可具有根据过程的进展沉积在其上的污染物2物20可以是聚合物基底的污染物。53.参考图4，主阀131a、阀132a及第三阀134a打开，且第二阀135a关闭。以超音速速率将清洁粒子1喷射在物体10的已污染表面上。清洁粒子1及表面的碰撞能量能够在真空气氛中精细调节。清洁粒子1及污染物20彼此碰撞且污染物20从物体10的表面掉落。54.当清洁粒子1的温度或清洁粒子1周围的温度升高时，清洁粒子1的动能可能会增大。因此，可通过控制清洁粒子1的温度或与清洁粒子1一起供应的载体气体的温度来调节清洁力。55.参考图5，主阀131a及第二阀135a打开，且阀132a及第三阀134a关闭。通过向物体10的经清洁表面吹扫气体来去除残留在物体10的已清洁表面上的灰尘。
19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。