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刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等，刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相，等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应，生成其他比如CO,CO2,H2O等气体，从而达到蚀刻的目的。
实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体，应用最多的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不燃，但在高浓度时具有麻醉作用，所以在工业应用时储存的容器为专用高压气瓶，所使用的减压阀也为专用减压阀。
四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除，在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用。
9.本发明构思的实施例提供一种不使用诸如酸性化学处理或碱性化学处理的化学处理过程的环境友好的表面处理设备及方法。10.待由本发明构思解决的技术问题并不限制于前述问题，且本文未提及的其他技术问题将由本发明构思涉及的那些本领域普通技术人员从以下描述中充分理解。11.根据实施例，一种表面处理设备包括:腔室，在该腔室中具有处理空间；排气管线，该排气管线用于抽空该处理空间；支承构件，该支承构件设置在该处理空间中且支承待处理物体；喷嘴，该喷嘴向该物体以超音速速率喷射粒子或气体；移动构件，该移动构件使该喷嘴或该物体相对于彼此移动，及主供应管线，该主供应管线向该喷嘴供应粒子。12.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的该涂布成分的硬度相似的成分。13.在实施例中，该粒子可包括y2o3、al2o3、yag、ysz及zr2o3中的一者或多者。14.在实施例中，该粒子可由原料粒子粒化而成或可以粉末状态提供。15.在实施例中，该粒子可具有几μm至100μm之大小。16.在实施例中，该粒子可与载体气体一起被供应。17.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括将该气体供应到该喷嘴的气体供应管线。18.在实施例中，该气体供应管线可连接到该主供应管线，且该粒子可经由与该主供应管线连接的粒子供应管线供应到该主供应管线。
19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。
1． 门板类,一般是利用长边包短边的加工方式,然后在相应角落处开工艺孔,工艺孔的大小一般由板厚而定,板厚增大时,工艺孔的大小也要相应增大,否则折弯时会产生棱角.2． 焊接件,一般是利用治具、孔或凸包来定位焊接.可减少定位时所浪费的工时,尺寸,提高工作效率,减少成本.在一些比较难定位的焊接时,一般使用凸包或孔定位.3． 电镀件,因电镀液对料件有腐蚀作用,所以一般要在电镀件的角落处,增加工艺孔,方便电镀液及时排出,确保质量.