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本实用新型涉及一种废水处理装置，具体说是表面处理生产线废水处理装置。它包括蒸发器。其特点是还包括物理过滤机构、超滤机构、第一反渗透机构、化学过滤机构、海水淡化机构、产水箱、第二反渗透机构和回用水箱；所述物理过滤机构与超滤机构相连，超滤机构与第一反渗透机构相连，第一反渗透机构与产水箱和化学过滤机构相连，化学过滤机构与产水箱和海水淡化机构相连，海水淡化机构与产水箱和所述蒸发器相连；所述产水箱与第二反渗透机构相连，第二反渗透机构与回用水箱相连，所述蒸发器与产水箱相连。采用高处理装置可减少能源消耗，减小环境污染。
以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第二清洁区域之涂布厚度减小了12μm。虽然清洁粒子1喷射到第二经清洁区域100次，但确定涂布厚度没有显著减小且仅去除了污染物。62.通过将干净干燥空气(cda)作为载体气体喷射al2o3粒子50次来清洁第三清洁区域。以30标准升每分钟(slm)来供应cda。确定第三清洁区域的涂布厚度减小了4μm。63.在清洁之后，经清洁表面可将干净干燥空气(cda)作为载体气体用y2o3来涂布。例如，涂布粒子可作为具有几μm或更小的粒子的粉末提供，且可以不同的设置其中储存涂布粒子的粒子储存构件及其中储存清洁粒子的粒子储存构件。64.与常规研磨清洁方法中的厚度减小相比，根据本发明构思的实施例的厚度减小小。例如，在研磨的情况下，涂布厚度减小了20μm，然而在本发明构思的实施例中，图7中第二清洁区域中的涂布厚度减小了12μm。因此，部件的涂布效能可保留更长的时间。此外，根据本发明构思的实施例，通过控制粒子的大小、粒子的类型及喷射速度，经由喷嘴供应的粒子可适用于清洁粒子及涂布粒子。
13、IMD又分为IML、IMR，这两种工艺的大区别就是产品表面是否有一层透明的保护薄膜。IML的中文名称:模内镶件注塑其工艺显著的特点是:表面是一层硬化的透明薄膜，中间是印刷图案层，背面是塑胶层，由于油墨夹在中间，可使产品表面被刮花和耐磨擦，并可长期保持颜的鲜明不易退。IMR的中文名称:模内转印此工艺是将图案印刷在薄膜上，通过送膜机将膜片与塑模型腔贴合进行注塑，注塑后有图案的油墨层与薄膜分离，油墨层留在塑件上而得到表面有装饰图案的塑件，在的产品表面是没有一层透明的保护膜，膜片只是生产过程中的一个载体。但IMR的优势在于生产时的自动化程度高和大批量生产的成本较低。IMR的缺点:印刷
19.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子。20.在实施例中，表面处理设备可进一步包括控制器，且该控制器执行:控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的供应；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的表面上的残余物。21.在实施例中，该表面处理设备可进一步包括控制器，且该主供应管线可向该喷嘴另外供应与该粒子相同或不同的第二粒子。该控制器可执行控制以经由该喷嘴以超音速速率喷射该粒子且使该物体或该喷嘴相对于彼此移动，使得通过该粒子与该物体的表面上的污染物的碰撞从该物体的表面去除该污染物；可停止该粒子的该供应，可执行控制以经由该喷嘴喷射该气体以吹扫残留在该物体的该表面上的残余物；且可执行控制以经由该喷嘴喷射该第二粒子以利用该第二粒子涂布该物体的该表面。22.在实施例中，该物体可以是被设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中的部件且可由涂布有y2o3的铝材料形成。23.根据实施例，提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。该方法包括:在其中设置有该物体的气氛中形成真空且通过粒子以超音速速率与该物体的表面上的污染物碰撞来清洁该物体的该表面。24.在实施例中，该粒子可具有与该物体的涂布成分相同的成分或硬度与该物体的涂布成分的硬度相似的成分。