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刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等，刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相，等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应，生成其他比如CO,CO2,H2O等气体，从而达到蚀刻的目的。
实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体，应用最多的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不燃，但在高浓度时具有麻醉作用，所以在工业应用时储存的容器为专用高压气瓶，所使用的减压阀也为专用减压阀。
四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除，在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用。
25、在金属中，银是导电性能好的金属。由于银的导电性能好，因此它的接触电阻小，可以提高产品的电性能。银有美丽的银白光泽，常用于装饰的目的。银镀层主要用于仪器仪表工业、轻工产品、灯具、反光镜、探照灯等需要防护装饰性的电镀层和反光面镀层的物品表面。镀银的对象一般多是铜或铜合成金件。钢铁金属构件镀银，先镀上一层能金属受腐蚀的其它金属或合金层（如镉、黄铜、青铜等），经常与硬橡胶（含有硫）接触的零件不宜镀银。如果需要高度的光泽，则在镀前和镀后对零件进行精细的抛光处理。镀银的方法主要有两大类，即氰化镀银和无氰镀银。氰化镀银是近百年来的老工艺，氰化镀银溶液稳定，电流效率高，分散力和覆盖能力较好，镀层的品粒也比较细致，但由
20、性和电镀缘性；良好吸附能力，它能染成各种颜；较好的遮盖能力，故对制件表面机械加工要求较低。适用于各种仪器、仪表、电子仪器上的零件，外观件以及日用品、食品用具的表面防护装饰层。（2）红宝石膜氧化法日本近来研究成阳氧化合成红宝石膜新工艺，该工艺所得膜层外形及光学性能为，用于光学、装饰等方面。这是一项新颖工艺、具有广泛应用前景的工艺方法。其方法是，首先采用常规阳批发价格多孔膜（为无定形的AL2O3），并使多孔膜吸附铬离子，然后将吸附了铬离子的氧化膜在酸式硫酸盐熔盐中进行二次阳氧化，借助于二次电解，使氧化膜结构从无定形向酇L2O3过渡，从而获得红宝石膜。铝氧化膜的颜主要有:淡紫红、浅
使用表面处理设备的表面处理方法将与图3一起参考图4至图6以顺序次序描述。52.从基材处理设备拆卸待清洁的物体10并将该待清洁的物体10提供给表面处理设备。待清洁的物体10可以是通过使用y2o3在阳氧化铝合金基底材料上执行aps涂布而获得的部件。待清洁的物体10可具有根据过程的进展沉积在其上的污染物2物20可以是聚合物基底的污染物。53.参考图4，主阀131a、阀132a及第三阀134a打开，且第二阀135a关闭。以超音速速率将清洁粒子1喷射在物体10的已污染表面上。清洁粒子1及表面的碰撞能量能够在真空气氛中精细调节。清洁粒子1及污染物20彼此碰撞且污染物20从物体10的表面掉落。54.当清洁粒子1的温度或清洁粒子1周围的温度升高时，清洁粒子1的动能可能会增大。因此，可通过控制清洁粒子1的温度或与清洁粒子1一起供应的载体气体的温度来调节清洁力。55.参考图5，主阀131a及第二阀135a打开，且阀132a及第三阀134a关闭。通过向物体10的经清洁表面吹扫气体来去除残留在物体10的已清洁表面上的灰尘。