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表面处理设备关键部件
一、多功能离子注入技术及设备
多功能离子注入是一种将离子注入和增强沉积相结合的先进表面改性新技术。该设备配有多个源头，既能单独使用，也可以根据工艺要求以各种不同方式，部分或同时进行工作，从而实现对材料表面的单元、多元注入或增强沉积。被它处理过的工件，明显改善工件表面的耐磨、耐腐蚀和抗疲劳等性能，从而提高工件的使用寿命。
二、全方位离子注入与沉积技术及设备
全方位离子注入是一种先进的材料表面改性新技术。其基本原理是:将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命
25.在实施例中，该粒子可包括y2o3、al2o3、yag、ysz及zr2o3中的一者或多者。26.在实施例中，该粒子可由原料粒子被粒化而成或可以粉末状态提供。27.在实施例中，该粒子可具有几μm至100μm之大小。28.在实施例中，该粒子可与载体气体一起供应。29.在实施例中，该方法可进一步包括:在清洁该物体的该表面之后停止该等粒子的供应，且通过向该物体的经清洁表面吹扫气体来去除残留在该物体的表面上的残余物。30.在实施例中，该方法可进一步包括:在去除残留在该物体的该表面上的该残余物之后，通过与该粒子相同或不同的第二粒子与该物体的表面的碰撞，用该第二粒子涂布该物体的表面。附图说明31.结合以下随附附图，上述及其他目的及特征根据以下描述将变得显而易见，其中除非另外说明，贯穿整个各个附图，相似的附图标记是指相似的部件，且附图如下:32.图1是示出通过在阳氧化铝合金基底材料上执行aps涂布获得的部件在干蚀刻过程中使用达约600小时之后的状态的照片。33.图2示出根据本发明构思的实施例的表面处理设备的示意图及包括在该表面处理设备中的喷嘴的剖视图。34.图3是示出根据本发明的实施例的表面处理方法的流程图。35.图4是示出使用根据图2的实施例的表面处理设备清洁部件的表面的步骤的视图。
72.上述描述举例说明本发明构思。此外，上述内容描述了本发明构思的实施例，且本发明构思可用于各种其他组合、变化及环境中。即，在不脱离本说明书中揭示的本发明构思的范围、书面公开的等效范围及/或本领域普通技术人员的技术或知识范围的情况下，可以对本发明构思进行改变或修改。书面实施例描述了用于实施本发明构思的技术精神的佳状态，且可进行本发明构思的特定应用及目的中所需的各种改变。因此，本发明构思的详细描述并非旨在限制所揭示的实施例状态中的本发明构思。此外，应理解为所附权利要求包括其他实施例。73.虽然已经参考实施例描述了本发明构思，但对于本领域普通技术人员显而易见的是，在不脱离本发明构思的精神及范围的情况下可以进行各种改变及修改。因此，应当理解，上述实施例并非限制性的，而是示例性的。
医疗器械材料的表面处理问题解决了器械与人体的生物相容性问题。微导管含有PP(聚丙烯)，因此其表面能相对较低，并且是疏水性的。经等离子清洗机处理和接枝后，包覆蛋白的附着力提高，生物材料的耐腐蚀性大大提高。生物污染——等离子清洗机的等离子可以去除油膜、显微细菌等污染物，等离子清洗机可以有效去除等离子放电附着在材料表面的污染物，去除过程中不会损伤或改变基体的性质。此外，等离子清洗技术也可用于清洗敏感仪器部件或植入物的表面。