河北低压真空机哪家价格实惠
刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等，刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相，等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应，生成其他比如CO,CO2,H2O等气体，从而达到蚀刻的目的。
实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体，应用最多的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不燃，但在高浓度时具有麻醉作用，所以在工业应用时储存的容器为专用高压气瓶，所使用的减压阀也为专用减压阀。
四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除，在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用。
表面处理设备包括支承待清洁的物体10的支座(未示出)。表面处理设备可包括提供处理空间的腔室(未示出)。腔室(未示出)的处理空间可处于真空气氛下。例如，腔室(未示出)的处理空间可与排气管线(未示出)连接，且处理空间中的气氛可经由连接到排气管线(未示出)的真空泵(未示出)被抽空。因此，可在处理空间中形成真空气氛。待清洁的物体10可放置在真空气氛中。待清洁的物体10可在真空气氛中被处理。41.喷嘴110直接或间接地耦合到移动构件120且可在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动。例如，移动构件120可利用在x轴方向、y轴方向或z轴方向上可移动的移动级(moving stage)来实施。可替代地，移动构件120可利用机械臂来实施。42.虽然移动构件120示出为与喷嘴110直接或间接地耦合，但移动构件120可被配置为相对于喷嘴110移动物体10。例如，移动构件120可被配置为在x轴方向、y轴方向或z轴方向上移动支承待处理物体10的支座(未示出)，且可以相对于喷嘴110移动物体10。43.喷嘴110利用超音速喷嘴实施且以超音速速率喷射清洁粒子1，该清洁粒子1将在下文描述。超音速喷嘴可通过各种已知文件引用。喷嘴110可定位成朝向待清洁的物体10的表面。污染物20可沉积在物体10上，以形成薄膜。
等离子体表面处理设备已广泛应用于电子电路、电子电器、汽车制造、半导体制造、印刷、涂覆、高分子材料、器械、灭菌等行业，目前已经成为的真空等离子处理设备生产企业，产品面涉及为广泛。等离子应用领域介绍本产品主要适用于各种材料的表面改性处理:表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积:★表面清洗:粘接、锡焊、电镀前的表面处理★表面活化:生物材料的表面修饰，印刷涂布或粘接前的表面处理
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